三維力傳感器需要多大的精度， 決定精度的有非線性，遲滯性，非重復(fù)性，溫度、零點(diǎn)偏置刻度，溫度的影響。但主要由非線性，遲滯性，非重復(fù)性，精度越高，價(jià)格也就越高。針對微操作過程中對微力覺信號的需求，以壓阻檢測技術(shù)為基礎(chǔ)結(jié)合MEMS加工工藝，設(shè)計(jì)了一種用于微操作的三維力傳感器，建立傳感器的數(shù)學(xué)模型并用有限元分析軟件對敏感彈性元件進(jìn)行分析。利用懸臂梁受力彎曲變形的原理結(jié)合顯微視覺技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對沖擊力傳感器的標(biāo)定，并給出了傳感器的信號處理方法。實(shí)驗(yàn)證明，該傳感器具有耦合小、測量分辨率高、線性度好、標(biāo)定簡單的優(yōu)點(diǎn)，滿足了預(yù)計(jì)的設(shè)計(jì)要求。

選擇怎樣的三維力傳感器電壓，輸出信號的類型決定選擇怎么樣的勵(lì)磁電壓。許多壓力變送器有內(nèi)置的電壓調(diào)節(jié)裝置，因此其電源電壓范圍較大。有些沖擊力傳感器是定量配置，需要一個(gè)穩(wěn)定的工作電壓，因此，工作電壓決定是否采用帶有調(diào)節(jié)器的三維力傳感器，選擇傳送器時(shí)要綜合考慮工作電壓與系統(tǒng)造價(jià)。

三維力傳感器要測量三個(gè)方向的信號，先確定傳感器中測量的較大值，一般需要選擇一個(gè)具有比較大值還要大1.2倍左右的力量值變送器。這主要是在許多系統(tǒng)中，尤其是水壓測量和加工處理中，有峰值和持續(xù)不規(guī)則的上下波動(dòng)，這種瞬間的峰值能破壞三維力傳感器。持續(xù)的高壓力值或稍微超出三維力傳感器的標(biāo)定較大值會(huì)縮短沖擊力傳感器的壽命，這樣做還會(huì)使精度下降。于是可以用一個(gè)緩沖器來降低壓力毛刺，但這樣會(huì)降低傳感器的響應(yīng)速度。所以在選擇變送器時(shí)要充分考慮壓力范圍、精度與其穩(wěn)定性。